Kazan Federal University Digital Repository

НЕСТАЦИОНАРНАЯ МОДЕЛЬ ВЧЕ-РАЗРЯДА ПРИ ПОНИЖЕННОМ ДАВЛЕНИИ

Show simple item record

dc.contributor Казанский (Приволжский) федеральный университет
dc.contributor.author Чебакова Виолетта Юрьевна ru_RU
dc.contributor.author АБДУЛЛИН Ильдар Шаукатович ru_RU
dc.contributor.author ЖЕЛТУХИН Виктор Семенович ru_RU
dc.contributor.author ШНЕЙДЕР Михаил Наумович ru_RU
dc.date.accessioned 2016-02-02T09:57:57Z
dc.date.available 2016-02-02T09:57:57Z
dc.date.issued 2014
dc.identifier.uri http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/32861
dc.description.abstract В работе представлена нестационарная математическая модель ВЧЕ-разряда в аргоне при пониженных давлениях с учетом влияния метастабильных атомов. Данная модель актуальна как при небольших межэлектродных расстояниях, так и для расстояний порядка 0.2--0.5~м. Для численной реализации математической модели был создан программный комплекс в среде MatLab. В качестве основных параметров пользователем вводится: межэлектродное расстояние, амплитуда напряжения на генераторе, частота генератора, давление газа, число точек сетки по пространственной и временной осям координат, температура газа на электродах. С помощью программного комплекса рассчитываются распределения концентрации ионов, электронов, метастабильных атомов, атомной и электронной температуры на каждом временном слое, полный ток разряда. Дополнительно пользователь может рассчитать параметры ВЧЕ-разряда, усредненные по периоду колебаний электромагнитного поля. Результаты расчетов могут быть представлены как в графическом, так и в табличном представлении. ru_RU
dc.relation.ispartofseries Сеточные методы для краевых задач и приложения ru_RU
dc.subject Высокочастотный емкостный разряд ru_RU
dc.subject электронная и ионная концентрация ru_RU
dc.subject концентрация метастабилий ru_RU
dc.subject электронная температура ru_RU
dc.title НЕСТАЦИОНАРНАЯ МОДЕЛЬ ВЧЕ-РАЗРЯДА ПРИ ПОНИЖЕННОМ ДАВЛЕНИИ ru_RU
dc.type article
dc.identifier.udk 537.525.7+621.762
dc.description.pages 15-20


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account