Показать сокращенную информацию
dc.contributor | Казанский федеральный университет | |
dc.contributor.author | Шемахин Александр Юрьевич | |
dc.contributor.author | Худайбергенов Гамзат Жапарович | |
dc.contributor.author | Желтухин Виктор Семенович | |
dc.date.accessioned | 2015-10-02T11:51:00Z | |
dc.date.available | 2015-10-02T11:51:00Z | |
dc.date.issued | 2015 | |
dc.identifier.citation | Желтухин В. С., Худайбергенов Г. Ж., Шемахин А. Ю. Моделирование течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы в асимметричной вакуумной камере в диапазонах чисел кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для несущего газа // Вестник ОмГУ. - 2015. - №2 (76). - С. 30-34. | |
dc.identifier.issn | ||
dc.identifier.uri | http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/27434 | |
dc.description.abstract | ||
dc.language.iso | ru | |
dc.relation.ispartofseries | Вестник Омского университета | |
dc.rights | открытый доступ | |
dc.subject | аргон-силановая плазма | |
dc.subject | тлеющий разряд | |
dc.subject | высокочастотный разряд | |
dc.subject | осаждение тонких пленок | |
dc.subject | тонкие пленки аморфного кремния | |
dc.subject | плазменные струи | |
dc.subject | математическое моделирование | |
dc.subject | статистическое моделирование | |
dc.title | Моделирование течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы в асимметричной вакуумной камере в диапазонах чисел кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для несущего газа | |
dc.type | Article | |
dc.contributor.org | Институт физики | |
dc.description.pages | ||
dc.relation.ispartofseries-issue | 76 | |
dc.relation.ispartofseries-volume | 2 | |
dc.pub-id | 113771 |