dc.contributor |
Казанский федеральный университет |
|
dc.contributor.author |
Шемахин Александр Юрьевич |
|
dc.contributor.author |
Худайбергенов Гамзат Жапарович |
|
dc.contributor.author |
Желтухин Виктор Семенович |
|
dc.date.accessioned |
2015-10-02T11:51:00Z |
|
dc.date.available |
2015-10-02T11:51:00Z |
|
dc.date.issued |
2015 |
|
dc.identifier.citation |
Желтухин В. С., Худайбергенов Г. Ж., Шемахин А. Ю. Моделирование течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы в асимметричной вакуумной камере в диапазонах чисел кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для несущего газа // Вестник ОмГУ. - 2015. - №2 (76). - С. 30-34. |
|
dc.identifier.issn |
|
|
dc.identifier.uri |
http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/27434 |
|
dc.description.abstract |
|
|
dc.language.iso |
ru |
|
dc.relation.ispartofseries |
Вестник Омского университета |
|
dc.rights |
открытый доступ |
|
dc.subject |
аргон-силановая плазма |
|
dc.subject |
тлеющий разряд |
|
dc.subject |
высокочастотный разряд |
|
dc.subject |
осаждение тонких пленок |
|
dc.subject |
тонкие пленки аморфного кремния |
|
dc.subject |
плазменные струи |
|
dc.subject |
математическое моделирование |
|
dc.subject |
статистическое моделирование |
|
dc.title |
Моделирование течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы в асимметричной вакуумной камере в диапазонах чисел кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для несущего газа |
|
dc.type |
Article |
|
dc.contributor.org |
Институт физики |
|
dc.description.pages |
|
|
dc.relation.ispartofseries-issue |
76 |
|
dc.relation.ispartofseries-volume |
2 |
|
dc.pub-id |
113771 |
|