Электронный архив

Моделирование течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы в асимметричной вакуумной камере в диапазонах чисел кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для несущего газа

Показать сокращенную информацию

dc.contributor Казанский федеральный университет
dc.contributor.author Шемахин Александр Юрьевич
dc.contributor.author Худайбергенов Гамзат Жапарович
dc.contributor.author Желтухин Виктор Семенович
dc.date.accessioned 2015-10-02T11:51:00Z
dc.date.available 2015-10-02T11:51:00Z
dc.date.issued 2015
dc.identifier.citation Желтухин В. С., Худайбергенов Г. Ж., Шемахин А. Ю. Моделирование течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы в асимметричной вакуумной камере в диапазонах чисел кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для несущего газа // Вестник ОмГУ. - 2015. - №2 (76). - С. 30-34.
dc.identifier.issn
dc.identifier.uri http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/27434
dc.description.abstract
dc.language.iso ru
dc.relation.ispartofseries Вестник Омского университета
dc.rights открытый доступ
dc.subject аргон-силановая плазма
dc.subject тлеющий разряд
dc.subject высокочастотный разряд
dc.subject осаждение тонких пленок
dc.subject тонкие пленки аморфного кремния
dc.subject плазменные струи
dc.subject математическое моделирование
dc.subject статистическое моделирование
dc.title Моделирование течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы в асимметричной вакуумной камере в диапазонах чисел кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для несущего газа
dc.type Article
dc.contributor.org Институт физики
dc.description.pages
dc.relation.ispartofseries-issue 76
dc.relation.ispartofseries-volume 2
dc.pub-id 113771


Файлы в этом документе

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать сокращенную информацию

Поиск в электронном архиве


Расширенный поиск

Просмотр

Моя учетная запись