Чебакова Виолетта Юрьевна; Желтухин Виктор Семенович
(2013)
Проведен анализ математических моделей, а также данных экспериментальных исследований высокочастотного емкостного (ВЧЕ) разряда. В настоящие время созданы и исследованы модели, подробно описывающие свойства ВЧЕ-разрядов ...