МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА ПРИ БОЛЬШИХ МЕЖЭЛЕКТРОДНЫХ РАССТОЯНИЯХ. I. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ
                             // Ученые записки КФУ. Физико-математические науки 2013 том155 N2

Шнейдер Михаил Наумович; Чебакова Виолетта Юрьевна; Желтухин Виктор Семенович; Абдуллин Ильдар Шаукатович

dc.contributor.author	Абдуллин Ильдар Шаукатович
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович
dc.contributor.author	Чебакова Виолетта Юрьевна
dc.contributor.author	Шнейдер Михаил Наумович
dc.date.accessioned	2015-06-04T10:00:38Z
dc.date.available	2015-06-04T10:00:38Z
dc.date.issued	2013
dc.identifier.issn	1815-6088
dc.identifier.uri	http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/19981
dc.description.abstract	В работе построена одномерная математическая модель нестационарной высокочастотной плазмы пониженного давления, позволяющая рассчитать основные характеристики плазмы в высокочастотном емкостном разряде с большим межэлектродном расстоянием и описать поведение плазмы в приэлектродных областях с учетом нагрева газа.
dc.relation.ispartofseries	Ученые записки КФУ. Физико-математические науки
dc.subject.other	математическое моделирование
dc.subject.other	высокочастотный емкостный разряд пониженного давления
dc.subject.other	напряженность электрического поля
dc.subject.other	электронная и газовая температура
dc.subject.other	концентрация электронов
dc.subject.other	ионов
dc.subject.other	mathematical modeling
dc.subject.other	high-frequency low-pressure capacitive discharge
dc.subject.other	electric field strength
dc.subject.other	electronic and gas temperature
dc.subject.other	concentration of electrons
dc.subject.other	ions
dc.title	МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА ПРИ БОЛЬШИХ МЕЖЭЛЕКТРОДНЫХ РАССТОЯНИЯХ. I. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ // Ученые записки КФУ. Физико-математические науки 2013 том155 N2
dc.type	Article
dc.relation.ispartofseries-issue	2
dc.collection	Периодические издания КФУ
dc.relation.startpage	123
dc.source.id	ELIB18156088-2013-155-2-11
dc.relation.ispartofseries.volume	155