Kazan Federal University Digital Repository

МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА ПРИ БОЛЬШИХ МЕЖЭЛЕКТРОДНЫХ РАССТОЯНИЯХ. I. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ // Ученые записки КФУ. Физико-математические науки 2013 том155 N2

Show simple item record

dc.contributor.author Абдуллин Ильдар Шаукатович
dc.contributor.author Желтухин Виктор Семенович
dc.contributor.author Чебакова Виолетта Юрьевна
dc.contributor.author Шнейдер Михаил Наумович
dc.date.accessioned 2015-06-04T10:00:38Z
dc.date.available 2015-06-04T10:00:38Z
dc.date.issued 2013
dc.identifier.issn 1815-6088
dc.identifier.uri http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/19981
dc.description.abstract В работе построена одномерная математическая модель нестационарной высокочастотной плазмы пониженного давления, позволяющая рассчитать основные характеристики плазмы в высокочастотном емкостном разряде с большим межэлектродном расстоянием и описать поведение плазмы в приэлектродных областях с учетом нагрева газа.
dc.relation.ispartofseries Ученые записки КФУ. Физико-математические науки
dc.subject.other математическое моделирование
dc.subject.other высокочастотный емкостный разряд пониженного давления
dc.subject.other напряженность электрического поля
dc.subject.other электронная и газовая температура
dc.subject.other концентрация электронов
dc.subject.other ионов
dc.subject.other mathematical modeling
dc.subject.other high-frequency low-pressure capacitive discharge
dc.subject.other electric field strength
dc.subject.other electronic and gas temperature
dc.subject.other concentration of electrons
dc.subject.other ions
dc.title МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА ПРИ БОЛЬШИХ МЕЖЭЛЕКТРОДНЫХ РАССТОЯНИЯХ. I. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ // Ученые записки КФУ. Физико-математические науки 2013 том155 N2
dc.type Article
dc.relation.ispartofseries-issue 2
dc.collection Периодические издания КФУ
dc.relation.startpage 123
dc.source.id ELIB18156088-2013-155-2-11
dc.relation.ispartofseries.volume 155


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account