Влияние режимов осаждения на структуру и магнитно-фазовый состав тонких пленок, синтезированных по технологии ионно-стимулированного осаждения

Abstract

Тонкие пленки 57Fe (50-300 нм) были синтезированы методом ионно-стимулированного осаждения (ИСО) на подложках из кварцевого стекла (SiO2) и монокристаллического NaCl со скоростью осаждения 3,2, 10 и 20 нм/мин. Методами сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионного элементного микроанализа, рентгеновской дифракции, мессбауэровской спектроскопии и вибрационной магнитометрии было исследовано влияние режимов осаждения пленок 57Fe на их структуру, магнитно-фазовый состав и перпендикулярную магнитную анизотропию (ПМА). Показано, что источником возникновения ПМА в пленках железа является оксидная фаза железа, которая приводит к возникновению микронапряжений. Максимальная величина микронапряжений наблюдается при низкой скорости осаждения (3,2 нм/мин). С увеличением скорости осаждения (до 20 нм/мин) величина микронапряжений и значение ПМА уменьшаются.