Электронный архив

АНАЛИЗ ИОННЫХ ПОТОКОВ В ПЛАЗМЕ НЕРАСПЫЛЯЮЩЕГО МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА

Показать сокращенную информацию

dc.contributor Казанский (Приволжский) федеральный университет
dc.contributor.author Казиев А. В. ru_RU
dc.contributor.author Колодко Д. В. ru_RU
dc.contributor.author Зибров М. С. ru_RU
dc.contributor.author Степанова Т. В. ru_RU
dc.contributor.author Леонова К. А. ru_RU
dc.date.accessioned 2018-01-11T11:33:02Z
dc.date.available 2018-01-11T11:33:02Z
dc.date.issued 2017
dc.identifier.uri http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/117582
dc.description.abstract С помощью фильтра Вина (E×B зонда) с системой экстракции экспериментально определен состав ионных потоков в плазме нераспыляющего магнетронного разряда при работе в смеси Ar/CO2 для различных значений мощности разряда. Показано, что содержание ионов металлов в потоке на экстрактор пренебрежимо мало. ru_RU
dc.description.abstract The ion flux composition in a non-sputtering magnetron discharge has been experimentally measured by a Wien filter (E×B probe) equipped with an extraction system. It is demonstrated that the metal ion fraction in the extracted flux is negligible. en_US
dc.relation.ispartofseries "ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017 ru_RU
dc.subject - ru_RU
dc.subject - en_US
dc.title АНАЛИЗ ИОННЫХ ПОТОКОВ В ПЛАЗМЕ НЕРАСПЫЛЯЮЩЕГО МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА ru_RU
dc.title.alternative ION FLUX CHARACTERIZATION IN A NON-SPUTTERING MAGNETRON DISCHARGE en_US
dc.type article
dc.identifier.udk -
dc.description.pages 182-182


Файлы в этом документе

Icon
Имя: FNTP2017_182.pdf
Размер: 367.9Kb
Формат: PDF
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать сокращенную информацию

Поиск в электронном архиве


Расширенный поиск

Просмотр

Моя учетная запись

Статистика