Kazan Federal University Digital Repository

КОМПЛЕКСНОЕ ИЗУЧЕНИЕ ОБЪЕМНОЙ ПЛАЗМОХИМИИ ЕМКОСТНЫХ ВЧ-РАЗРЯДОВ В СМЕСЯХ CF4/AR И CHF3/AR

Show simple item record

dc.contributor Казанский (Приволжский) федеральный университет
dc.contributor.author Зотович А.И. ru_RU
dc.contributor.author Прошина О.В. ru_RU
dc.contributor.author Лопаев Д.В. ru_RU
dc.contributor.author Зырянов С.М. ru_RU
dc.contributor.author Рахимова Т.В. ru_RU
dc.date.accessioned 2018-01-10T13:06:20Z
dc.date.available 2018-01-10T13:06:20Z
dc.date.issued 2017
dc.identifier.uri http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/117439
dc.description.abstract Было проведено комплексное экспериментально-теоретическое исследование емкостной плазмы на частоте 81 МГц в смесях Ar/CF4/CHF3 при давлениях 50 мТорр и 150 мТорр. Широкий набор экспериментальных диагностик вместе с одномерной гибридной Монте-Карло моделью на основе метода частиц в ячейках (PIC MC) были применены для исследования плазмы. Такой подход позволил определить сложный химический состав активных частиц в плазме, а также определить потоки ВУФ фотонов. ru_RU
dc.description.abstract Multifold experimental and theoretical study of capacitively coupled plasma at 81 MHz in Ar/CF4/CHF3 has been carried out at 50 and 150 mTorr gas pressures. The wide set of experimental diagnostics together with the hybrid PIC MC model calculations were applied to the detailed study of the plasmas. This multifold approach enabled us to determine the complicated plasma chemical composition of active species and the fluxes of VUV photons en_US
dc.relation.ispartofseries "ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017 ru_RU
dc.title КОМПЛЕКСНОЕ ИЗУЧЕНИЕ ОБЪЕМНОЙ ПЛАЗМОХИМИИ ЕМКОСТНЫХ ВЧ-РАЗРЯДОВ В СМЕСЯХ CF4/AR И CHF3/AR ru_RU
dc.title.alternative MULTIFOLD STUDY OF VOLUME PLASMA CHEMISTRY IN CF4/AR AND CHF3/AR CCP DISCHARGES en_US
dc.type article
dc.description.pages 202-202


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account

Statistics